作者：深圳市英能電氣有限公司
時(shí)間：2022-12-14
在磁控濺射鍍膜行業(yè)中，大家對(duì)中頻電源再熟悉不過(guò)了，但是大家對(duì)中頻電源的應(yīng)用原理還不是太清楚，今天我們就來(lái)談?wù)?a href="http://www.aytyy.com/productinfo1.html" target="_blank">中頻磁控濺射電源可以克服靶中毒，使反應(yīng)鍍膜速率加快的現(xiàn)象。
磁控濺射中的靶中毒就是在靶面上沉積了絕緣膜，所以氬離子不能進(jìn)入陰極靶材，而且陽(yáng)極上也沉積的絕緣膜，電子也達(dá)到不了陽(yáng)極，產(chǎn)生了陽(yáng)極消失現(xiàn)象。隨著絕緣膜的加厚，靶電壓突然降低，電流突然增大，產(chǎn)生打火現(xiàn)象，使鍍膜過(guò)程停止。這些現(xiàn)象中和為靶中毒現(xiàn)象。當(dāng)完全呈現(xiàn)靶中毒時(shí)，就很難恢復(fù)正常的磁控濺射過(guò)程。中頻電源可以消除靶中毒，是因?yàn)橹蓄l電源的電極分別接在兩個(gè)孿生靶上，電子在兩個(gè)靶中間來(lái)回震蕩，電子到達(dá)了堆積了正離子的靶面時(shí)，電子可以和正離子中和，消除或減輕靶中毒，采用中頻電源要配孿生靶，所謂孿生靶也就是兩個(gè)臨近的靶，可以是平面非平衡磁控濺射靶，也可以是兩個(gè)柱狀磁控濺射靶，這兩個(gè)靶分別接中頻的一個(gè)極，相互之間互為陰陽(yáng)極。電子在兩級(jí)間高速震蕩，碰撞氬氣電離，氬離子的密度大，金屬離化率高，容易形成化合物膜。也可以獲得絕緣膜。所以中頻電源鍍的膜層更細(xì)膩。中頻電源可以提供在這么大的靶上鍍絕緣膜，這在射頻電源來(lái)說(shuō)很難做到。
英能作為深圳真空鍍膜電源廠家的其中一員，在中頻磁控濺射電源上不短改善和提升，在使用效果上達(dá)到了非同一般的成績(jī)，穩(wěn)定性和膜層致密性都有了極大的提升。歡迎大家來(lái)電咨詢(xún)：18025476062
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