作者：深圳市英能電氣有限公司
時(shí)間：2022-12-09
脈沖偏壓電源（Bias power supply），是真空電弧離子鍍和磁控濺射鍍膜或其它真空物理氣相沉積設(shè)備的重要組成部分，針對(duì)鍍膜工藝的不同，偏壓電源也分了不同的種類(lèi)。
根據(jù)波形可分為：
一、直流偏壓電源
二、直流脈沖偏壓
主要特點(diǎn)
1.高頻單極性脈沖偏壓施壓在工件上，相比直流偏壓而言，由于存在電壓中斷間隙，能有效減少打火次數(shù)，保護(hù)工件表面。
2.脈沖間隙期間，工件表面積累的電荷可以被中和，從而減少了表面電荷積累引起的打火。
3.高頻逆變技術(shù)中的快速關(guān)斷能力，能有效減少每次打火釋放的能量，即使在打火出現(xiàn)時(shí)，也能明顯降低工件表面大損傷程度。
4.脈沖間隙期間沉積到工件表面的離子能量很低。
5.可以通過(guò)調(diào)節(jié)頻率、占空比要改善和控制成膜速度和質(zhì)量。
三、直流疊加脈沖偏壓
主要特點(diǎn)
1.具有單極性脈沖偏壓電源的所有特點(diǎn)。
2. 直流和直流疊加脈沖模式下，消除了單極性脈沖間隙間離子能量很低的問(wèn)題。
四、雙極性脈沖偏壓
主要特點(diǎn)
1. 負(fù)脈沖的作用同單極性脈沖偏壓電源，正脈沖的作用主要是吸引等離子體中的電子來(lái)中和工件表面的正電荷積累。因?yàn)殡娮拥馁|(zhì)量遠(yuǎn)小于離子，加速很容易，所以正脈沖的幅值遠(yuǎn)小于負(fù)脈沖幅值，通常為10～100V，正、負(fù)脈沖的電流積分應(yīng)相等。所以正電源的功率比負(fù)電源的功率小很多。
2. 當(dāng)正電源電壓為零時(shí)，雙極性脈沖偏壓就變成單極性脈沖偏壓。
英能電氣致力于真空鍍膜機(jī)電源的研發(fā)和生產(chǎn)，確保鍍膜過(guò)程中電壓電流的穩(wěn)定性，鍍膜效率高。因客戶需求不同，具體情況分別面對(duì)，如您有相關(guān)需求，赽快聯(lián)系小編免費(fèi)試用吧！180 2690 9337（微信同號(hào)）
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