作者：深圳市英能電氣有限公司
時(shí)間：2024-06-28
磁控濺射鍍膜過程中可能遇到的常見故障及其解決辦法可以歸納如下：
常見故障一：無法起輝
原因：
直流電源故障。
氬氣進(jìn)氣量小。
真空室清潔度不夠。
靶材絕緣度不夠。
磁場強(qiáng)度不夠。
真空度太差。
解決辦法：
檢查直流電源，確保電源工作正常。
檢查氬氣流量計(jì)或加大氬氣進(jìn)氣量。
清潔真空室，確保室內(nèi)無雜質(zhì)和污染。
檢查靶材是否與地短路，確保在通水的情況下，對地電阻在50kΩ以上。
檢查永磁體是否消磁，如有必要，更換永磁體。
檢查真空系統(tǒng)，確保真空度達(dá)到要求。
常見故障二：輝光不穩(wěn)
原因：
電壓電流不穩(wěn)。
真空室壓力不穩(wěn)。
電纜故障。
解決辦法：
檢查電源，確保電壓電流穩(wěn)定。
檢查氬氣進(jìn)氣量及真空系統(tǒng)，確保真空室壓力穩(wěn)定。
檢查電纜連接是否良好，如有必要，更換電纜。
常見故障三：成膜質(zhì)量差
原因：
基片表面清潔度差。
真空室清潔度差。
基片溫度過大或過小。
真空室壓力過大。
濺射功率設(shè)置不當(dāng)。
解決辦法：
清潔基片表面，確保無雜質(zhì)和污染。
清潔真空室，提高鍍膜質(zhì)量。
檢查溫控系統(tǒng)，校準(zhǔn)熱電偶，確保基片溫度適中。
檢查真空系統(tǒng)，降低真空室壓力。
檢查直流電源，設(shè)置合適的濺射功率。
常見故障四：濺射速率低
原因：
氬氣進(jìn)氣量過大或過小。
靶材過熱。
磁場強(qiáng)度不足。
解決辦法：
觀察輝光顏色，調(diào)整氬氣進(jìn)氣量至合適范圍，檢修流量計(jì)。
檢查冷卻水流量，確保靶材不過熱。
檢查永磁體是否消磁，必要時(shí)更換永磁體。
以上故障及其解決辦法涵蓋了磁控濺射鍍膜過程中可能遇到的主要問題。在實(shí)際操作中，應(yīng)結(jié)合具體情況進(jìn)行細(xì)致分析，并采取相應(yīng)的優(yōu)化措施。同時(shí)，定期維護(hù)和檢查設(shè)備也是預(yù)防故障發(fā)生的重要措施。
深圳市英能電氣有限公司是一家集真空鍍膜電源/PVD鍍膜電源的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售為一體的高科技企業(yè)，主要產(chǎn)品：中頻磁控濺射電源、單極性脈沖偏壓電源/雙極性脈沖偏壓、直流偏壓電源、直流磁控濺射電源、單極性脈沖磁控濺射電源，陽極電源、離子源電源、弧電源、高功率脈沖磁控濺射電源，HIPIMS電源等。已獲高新技術(shù)企業(yè)、iso9001認(rèn)證，擁有專利多份。產(chǎn)品已獲得ce、rohs認(rèn)證。專注提供真空鍍膜電源及工業(yè)控制領(lǐng)域的解決方案。咨詢熱線：137-1700-7958
