中頻磁控濺射電源、單極性脈沖偏壓電源/雙極性脈沖偏壓、直流偏壓電源

　　直流磁控濺射電源的主要用途可以歸納為以下幾個方面：

　　薄膜制備：

　　直流磁控濺射電源是科學(xué)研究和精密電子制造中常見的薄膜制備技術(shù)。經(jīng)過多年的發(fā)展，它已成為重要的工業(yè)化大面積真空鍍膜技術(shù)之一。

　　該技術(shù)廣泛應(yīng)用于各種薄膜的制備，如金屬、半導(dǎo)體、合金、氧化物、化合物半導(dǎo)體等。

　　例如，直流磁控濺射電源工藝生產(chǎn)的鍍膜玻璃，可由多層金屬或金屬氧化物制成，允許能量通過率和反射率任意調(diào)節(jié)，具有良好的美學(xué)效果，因此越來越多地應(yīng)用于現(xiàn)代建筑領(lǐng)域。

　　工業(yè)應(yīng)用：

　　直流磁控濺射電源技術(shù)廣泛應(yīng)用于玻璃、汽車、醫(yī)療衛(wèi)生、電子工業(yè)等行業(yè)和民生領(lǐng)域。

　　在織物涂層領(lǐng)域，該技術(shù)可應(yīng)用于安全領(lǐng)域，如防觸電、電磁屏蔽和機器人防護織物等。

　　同時，它也可用于制造染料，在醫(yī)療保健、環(huán)境保護、電子工業(yè)等領(lǐng)域有著重要的應(yīng)用。

　　工作原理與優(yōu)勢：

　　直流磁控濺射電源的工作原理涉及電流控制、磁場控制和離子控制三個方面。這種技術(shù)通過磁鐵和線圈產(chǎn)生一個穩(wěn)定的磁場，控制濺射電子的軌跡和能量，使其更加集中和穩(wěn)定地沉積在目標表面上。

　　磁控濺射技術(shù)具有濺射速率高、基片溫度低、膜層結(jié)合性良好、可實現(xiàn)大面積鍍膜等優(yōu)點。

　　設(shè)備與系統(tǒng)：

　　一個實用的直流磁控濺射電源系統(tǒng)通常包括直流磁控濺射電源臺、制冷裝置、渦輪分子泵和氣體流量控制器等部件。

　　在濺射真空室中，通過在第二靶位置使用RF電源對靶進行直流磁控濺射電源，實現(xiàn)薄膜涂層的制備。

　　分類與特點：

　　直流磁控濺射電源解決了DC濺射不能濺射絕緣體的缺點，可以濺射導(dǎo)體和絕緣體，提高了鍍膜效率。

　　綜上所述，直流磁控濺射電源以其高效、穩(wěn)定、可靠的濺射鍍膜解決方案，在多個領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用，為現(xiàn)代工業(yè)和技術(shù)的發(fā)展做出了重要貢獻。

　　深圳市英能電氣有限公司是一家集真空鍍膜電源/PVD鍍膜電源的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售為一體的高科技企業(yè)，主要產(chǎn)品：中頻磁控濺射電源、單極性脈沖偏壓電源/雙極性脈沖偏壓、直流偏壓電源、直流磁控濺射電源、單極性脈沖磁控濺射電源，陽極電源、離子源電源、弧電源、高功率脈沖磁控濺射電源，HIPIMS電源等。已獲高新技術(shù)企業(yè)、iso9001認證，擁有專利多份。產(chǎn)品已獲得ce、rohs認證。專注提供真空鍍膜電源及工業(yè)控制領(lǐng)域的解決方案。咨詢熱線：137-1700-7958