作者：深圳市英能電氣有限公司
時間：2024-06-03
在使用單極性脈沖磁控濺射電源時，需要注意以下事項：
安全操作：在開啟或關(guān)閉電源時，必須先打開或關(guān)閉控制面板上的電源開關(guān)，避免觸電危險。使用電源時，必須接地，避免因靜電引起的設(shè)備故障。嚴(yán)禁擅自拆卸或改變電路連接方式，避免因電路短路引起火災(zāi)等事故。
設(shè)備準(zhǔn)備：在操作前，確保磁控濺射器已經(jīng)正確安裝和配置。例如，靶材不得有嚴(yán)重?fù)p壞和缺陷，否則容易引起爆炸事故。
濺射過程：單次濺射時間請勿超過120s，若需濺射厚電極膜，可多次濺射。濺射時，請確保離子濺射儀的工作電流穩(wěn)定，再開始濺射。若要單次長時間濺射，需要配置水冷機進(jìn)行冷卻。
樣品處理：禁止使用未干燥的樣品及未黏附的粉末樣品。在拿起上蓋放樣品時，請將上蓋以原始方向放置于濺射池側(cè)邊。
防護(hù)措施：操作前需要穿戴好防護(hù)用具，如手套、眼鏡、防護(hù)服等。禁止用手碰觸靶材，也防止臟東西及樣品粘附至靶材上，影響使用。
清潔與維護(hù)：在生產(chǎn)過程中及操作后，及時清理設(shè)備產(chǎn)生的塵粒和污物，以確保設(shè)備的正常運行。在更換靶材時，需要先切斷電源并等待設(shè)備完全冷卻后再進(jìn)行操作。
故障處理：在設(shè)備故障時，應(yīng)當(dāng)及時切斷電源，并通知專業(yè)人士進(jìn)行檢修。
此外，還有一些特定于單極性脈沖磁控濺射電源的注意事項：
電源參數(shù)：根據(jù)具體的鍍膜需求和設(shè)備要求，調(diào)整電源的輸出電壓、電流、頻率等參數(shù)，確保其在合適的范圍內(nèi)。
冷卻系統(tǒng)：確保電源的冷卻系統(tǒng)正常運行，避免過熱導(dǎo)致設(shè)備損壞或性能下降。
磁場控制：對于磁控濺射電源，磁場控制是非常重要的。確保磁場強度、方向等參數(shù)符合工藝要求，以獲得理想的濺射效果。
總之，在使用單極性脈沖磁控濺射電源時，需要遵循相關(guān)的安全操作規(guī)程和設(shè)備要求，確保設(shè)備的正常運行和鍍膜質(zhì)量。
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