作者：深圳市英能電氣有限公司
時間：2022-06-22
總有客戶在磁控濺射電源使用過程中出現(xiàn)些小插曲，其實可能是沒有掌握正確的使用方法，如果使用得當電源基本不會出現(xiàn)什么問題，今天小篇就總結一下電源的操作流程及注意事項：
1、操作使用程序
(1) 檢查輸入、輸出線，確定接線無誤。
(2) 將冷卻水閥門打開。
(3) 確認靶與真空室外殼無短路，送氣后真空室內氣壓符合工藝要求。
(4) 將電源開關旋鈕旋到“ON”位置，風機轉動及觸摸屏開啟，表明電源已接通。
(5) 將觸摸屏“OFF”按鈕按下，并保持0.5s，經過延時2s后，電源已做好輸出準備。
(6) 設置電流值，電流和電壓逐漸增大。
(7) 根據工藝要求調節(jié)電流，輸出有效值電流和電壓都將隨之增加，直到所需值。如真空室內氣壓穩(wěn)定，靶面正常，則工作電流是穩(wěn)定電流。
2、關機操作
（1） 先將電流設定為零。
（2） 將觸摸屏電源開關按鈕按下，并保持0.5s，接觸器斷開，觸摸屏顯示“OFF”。
（3） 分斷自動空氣開關。
（4） 關冷卻水閥門。
3、 過流復位
在設備使用過程中由于負載短路或打火而產生過流現(xiàn)象時，電源都將進行自動保護。當電流超過一定范圍時電源將自動將電流調小，直至過流狀態(tài)消失。設備狀態(tài)恢復時，電流隨即恢復到設定電流值。當蜂鳴器會發(fā)出“嘀…嘀…嘀”連續(xù)的聲音時，表示電源啟動自我保護程序，主動切斷輸出，請及時檢查負載是否短路或電源已出現(xiàn)故障。為了重新恢復正常工作，您必須重新按照開機操作流程運行一次。
以上就是磁控濺射電源的使用方式，如果有真空鍍膜電源需求，歡迎以下聯(lián)系方式來咨詢。
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