真空鍍膜電源

　   雙極脈沖磁控濺射電源是一種專為真空鍍膜過程設計的電源設備。以下是對該電源系列的一些詳細介紹和特點歸納：

　　基本介紹：

　　雙極脈沖磁控濺射電源主要用于中頻孿生靶磁控濺射金屬或非金屬材料，特別適合于反應磁控濺射。

　　它通過采用先進的電流型開關電源技術和PWM脈寬調(diào)制技術，結合進口IGBT或MOSFET作為功率開關器件，實現(xiàn)了高效、穩(wěn)定的電源輸出。

　　主要特點：

　　高效能：采用中頻濺射電源技術，提高了濺射速率和基片溫度控制，使得鍍膜過程更加高效。

　　穩(wěn)定性：通過先進的DSP控制系統(tǒng)，保證了鍍膜工藝的重復性，并且具有抑制靶材弧光放電及抗短路功能。

　　調(diào)節(jié)性：主要參數(shù)可大范圍調(diào)節(jié)，方便用戶根據(jù)具體需求進行調(diào)整。

　　清潔性：雙極脈沖設計使得在濺射過程中，靶材表面能夠得到有效的清潔，減少了靶材中毒和異常放電的可能性。

　　自動化：提供光纖接口和RS485接口擴展功能，方便實現(xiàn)自動化控制。

　　型號與規(guī)格：

　　雙極脈沖磁控濺射電源提供了多種型號的電源設備，功率從1kW到120kW不等，適用于不同規(guī)模和需求的真空鍍膜設備。

　　每個型號都詳細列出了功率、最大工作電流、外形尺寸、冷卻方式、空載電壓和工作電壓等關鍵參數(shù)，方便用戶選擇和配置。

　　應用優(yōu)勢：

　　雙極脈沖磁控濺射電源能增加離化率，減少電荷積累引起的異常放電，預防靶表面中毒現(xiàn)象。

　　它特別適用于反應膜層環(huán)境的使用，并且已被廣泛應用于日常生活中的各個領域，如半導體制造、光學鍍膜、裝飾鍍膜等。

　　安全性與可靠性：

　　該系列電源設備采用嚴格的生產(chǎn)工藝和完善的質(zhì)量控制體系，保證了產(chǎn)品的安全性和可靠性。

　　同時，其體積小、重量輕、功能全、性能穩(wěn)定可靠，方便用戶進行安裝、調(diào)試和維護。

　　綜上所述，雙極脈沖磁控濺射電源憑借其高效能、穩(wěn)定性、調(diào)節(jié)性、清潔性和自動化等特點，成為真空鍍膜領域的重要設備之一。

　　深圳市英能電氣有限公司是一家集真空鍍膜電源/PVD鍍膜電源的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售為一體的高科技企業(yè)，主要產(chǎn)品：中頻磁控濺射電源、單極性脈沖偏壓電源/雙極性脈沖偏壓、直流偏壓電源、直流磁控濺射電源、單極性脈沖磁控濺射電源，陽極電源、離子源電源、弧電源、高功率脈沖磁控濺射電源，HIPIMS電源等。已獲高新技術企業(yè)、iso9001認證，擁有專利多份。產(chǎn)品已獲得ce、rohs認證。專注提供真空鍍膜電源及工業(yè)控制領域的解決方案。咨詢熱線：137-1700-7958