真空鍍膜中的氣體分離和復(fù)合

真空鍍膜中的電源有脈沖偏壓電源、中頻磁控濺射電源等，真空鍍膜中氣體有單離子氣體和雙原子氣體，比如氧氣和氮?dú)饩褪怯蓛蓚€(gè)氧原子和兩個(gè)氮原子組成的氧氣和氮?dú)?。氬氣和氦氣只有一個(gè)原子組成氣體，這個(gè)圖是原子內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖，原子的中心由原子核，周?chē)须娮樱诟鱾€(gè)不同能級(jí)的軌道上圍繞原子核運(yùn)動(dòng)，現(xiàn)在看氬原子的原子結(jié)構(gòu)，中心的是原子核，周?chē)菄@原子核運(yùn)動(dòng)的電子，他們都處于不同的能級(jí)，圍繞這原子核運(yùn)動(dòng)，氬原子帶18個(gè)正電荷，周?chē)鷩@著運(yùn)動(dòng)是18個(gè)電子，當(dāng)外界由于高能的電子和它產(chǎn)生的碰撞的時(shí)候，就有可能把以原子核結(jié)合最弱的電子打出去，使得原子少了一個(gè)電子，多了一個(gè)正電荷就成為了氬離子，通俗來(lái)說(shuō)電子與氣體碰撞使在外層電子脫離原子核的約束，就是氣體被電離。（氬氣原子）AR+e=（氬離子）AR⁺+e+e（電子）,電子可以使氣體產(chǎn)生電離，但不是所有的電子都可以使氣體電離，電子必須具有一個(gè)最低的能量才能使氣體分子電離，因?yàn)殡娮拥哪芰渴菑碾妶?chǎng)加速得到，所以使氣體電離要有一個(gè)最低的加速電壓，也叫加速電位，Ui就是使氣體電離的電離電位，H的電離電位Ui=13.595v，Ar的電離電位Ui=15.755v,Ti的電離電位Ui=6.83V,Cr的電離電位Ui=6.746V從這個(gè)數(shù)據(jù)也可以看到氣體被電離所需要的能量比金屬所需要的能量要高，也就是說(shuō)金屬更容易被電離。氣體被電離以后，氣體離子缺失了電子，多了正電荷，處于不穩(wěn)定狀態(tài)，在空間得到一個(gè)電子的時(shí)候，這個(gè)電子就填補(bǔ)了缺位的電子，所以電子和離子復(fù)合，復(fù)合成為穩(wěn)定的原子，這個(gè)時(shí)候要放出能量，放出原子變成離子所吸收的能量，這個(gè)能量的放出以光量子的形態(tài)放出，所以說(shuō)當(dāng)正離子和電子復(fù)合的時(shí)候放出原來(lái)電離時(shí)所吸收的能量，這個(gè)能量是以光量子的形態(tài)放出，所以復(fù)合的時(shí)候要發(fā)光，不同氣體被電離的時(shí)候吸收的能量不同，所以復(fù)合的時(shí)候放出的能量也不同，因此發(fā)光頻率也就不同，不同氣體產(chǎn)生光的顏色不同。

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 有提高工作效率和改善色差的中頻磁控濺射電源；

有專(zhuān)門(mén)針對(duì)打火問(wèn)題嚴(yán)重能明顯得到改善的脈沖偏壓電源；

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