作者：深圳市英能電氣有限公司
時(shí)間：2024-04-25
單極性脈沖偏壓電源在真空離子鍍膜等應(yīng)用中具有一些明顯的優(yōu)點(diǎn)。
首先，其高頻單極脈沖偏壓施加在工件上，存在電壓中斷間隙，能有效減少打火次數(shù)，從而保護(hù)工件表面。在脈沖間隙期間，工件表面積累的電荷可以被中和，減少了表面電荷積累引起的打火。
其次，高頻逆變技術(shù)中的快速關(guān)斷能力能有效減少每次打火釋放的能量，即使在打火出現(xiàn)時(shí)，也能明顯降低工件表面的損傷程度。
此外，脈沖間隙期間沉積到工件表面的離子能量很低，這樣可以通過(guò)調(diào)節(jié)頻率、占空比來(lái)改善和控制成膜速度和質(zhì)量。
最后，與直流偏壓相比，單極性脈沖偏壓電源能更好地控制離子轟擊過(guò)程，從而優(yōu)化薄膜的微觀結(jié)構(gòu)和性能。
因此，單極性脈沖偏壓電源在提高薄膜質(zhì)量、減少工件損傷以及優(yōu)化工藝控制等方面具有顯著優(yōu)勢(shì)。
深圳市英能電氣有限公司是一家集真空鍍膜電源/PVD鍍膜電源的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售為一體的高科技企業(yè)，主要產(chǎn)品：中頻磁控濺射電源、單極性脈沖偏壓電源/雙極性脈沖偏壓、直流偏壓電源、直流磁控濺射電源、單極性脈沖磁控濺射電源，陽(yáng)極電源、離子源電源、弧電源、高功率脈沖磁控濺射電源，HIPIMS電源等。已獲高新技術(shù)企業(yè)、iso9001認(rèn)證，擁有專利多份。產(chǎn)品已獲得ce、rohs認(rèn)證。專注提供真空鍍膜電源及工業(yè)控制領(lǐng)域的解決方案。咨詢熱線：137-1700-7958
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