作者：深圳市英能電氣有限公司
時間：2023-10-24
根據(jù)真空鍍膜工藝的不同，一定要匹配類型合適的真空鍍膜電源?？蛻粼谧稍冋婵斟兡る娫磿r聊起一個案例，在直流磁控濺射鍍膜后，品檢時發(fā)現(xiàn)鍍膜后的薄膜上有許多黑色小顆粒，且大部分顆粒是突起的，客戶覺得非常疑惑，基材明明已經(jīng)清洗干凈了，雖然客戶沒有具體說明濺射工藝，比如靶材、電源、氣壓、基體材料等，英能電氣技術同事們根據(jù)以往的經(jīng)驗分析可能有幾方面原因導致，腔體不干凈帶來的粉塵；靶材不致密造成的膜層疏松、靶材雜質、電源類型不匹配等方面的原因；如果是反應濺射，還可能是氧化不徹底等原因引起，所以選擇合適的真空鍍膜電源非常重要。
深圳市英能電氣有限公司是一家集真空鍍膜電源/PVD鍍膜電源的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售為一體的高科技企業(yè)，主要產(chǎn)品：中頻磁控濺射電源、單極性脈沖偏壓電源/雙極性脈沖偏壓、直流偏壓電源、直流磁控濺射電源、單極性脈沖磁控濺射電源，陽極電源、離子源電源、弧電源、高功率脈沖磁控濺射電源，HIPIMS電源等。已獲高新技術企業(yè)、iso9001認證，擁有專利多份。產(chǎn)品已獲得ce、rohs認證。專注提供真空鍍膜電源及工業(yè)控制領域的解決方案。咨詢熱線：137-1700-7958
