作者：深圳市英能電氣有限公司
時間：2023-10-11
雙極性脈沖磁控濺射電源的一個工作周期內(nèi)存在正負(fù)兩種電壓，在鍍膜過程中正負(fù)電源適時切換，及時釋放電荷積累。同時也存在正負(fù)兩種脈沖，負(fù)脈沖的作用同單極性脈沖偏壓電源一樣，工作于靶材的濺射。正脈沖的作用主要是吸引等離子體中的電子來中和工件表面的正電荷積累。以達(dá)到減少打火的目的。需要注意的是，當(dāng)正電壓為零時，雙極性脈沖偏壓就變成單極性脈沖偏壓。
深圳市英能電氣有限公司是一家集真空鍍膜電源/PVD鍍膜電源的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售為一體的高科技企業(yè)，主要產(chǎn)品：中頻磁控濺射電源、單極性脈沖偏壓電源/雙極性脈沖偏壓、直流偏壓電源、直流磁控濺射電源、單極性脈沖磁控濺射電源，陽極電源、離子源電源、弧電源、高功率脈沖磁控濺射電源，HIPIMS電源等。已獲高新技術(shù)企業(yè)、iso9001認(rèn)證，擁有專利多份。產(chǎn)品已獲得ce、rohs認(rèn)證。專注提供真空鍍膜電源及工業(yè)控制領(lǐng)域的解決方案。咨詢熱線：137-1700-7958
