作者:深圳市英能電氣有限公司
時(shí)間:2023-04-14
真空鍍膜技術(shù)是一種重要的工業(yè)應(yīng)用技術(shù),可以將一些金屬材料通過(guò)蒸發(fā)、濺射等方法,在基片上形成高質(zhì)量的薄膜。而在真空鍍膜過(guò)程中,電源是關(guān)鍵因素之一,它提供了能量,使得材料被加熱、蒸發(fā)或?yàn)R射,從而形成薄膜。
早在19世紀(jì)末20世紀(jì)初,人們開(kāi)始探索真空技術(shù),并嘗試將其應(yīng)用于薄膜制備中。當(dāng)時(shí)的真空泵、真空規(guī)等設(shè)備雖然已經(jīng)存在,但是沒(méi)有專門用于鍍膜的電源裝置。因此,早期的一些真空鍍膜實(shí)驗(yàn)大多采用手動(dòng)操作,通過(guò)火焰或電弧的方式加熱材料,制備薄膜。
直到20世紀(jì)20年代,真空鍍膜電源才開(kāi)始得到重視。1927年,美國(guó)普林斯頓大學(xué)的愛(ài)迪生研究所的C.H.基爾帕特里克和A.L.胡珀發(fā)明了第一臺(tái)真空鍍膜電源,這臺(tái)電源使用了高壓變壓器和高壓整流器,使得電流變成了直流,并控制了材料的加熱和蒸發(fā)過(guò)程,大大提高了薄膜制備的效率和質(zhì)量。
此后,隨著真空技術(shù)和電子技術(shù)的不斷進(jìn)步,真空鍍膜電源也不斷發(fā)展和完善,不同類型的電源相繼誕生,例如中頻電源、射頻電源、脈沖電源等,使得真空鍍膜技術(shù)得到廣泛應(yīng)用,成為重要的工業(yè)制備技術(shù)之一。
深圳市英能電氣有限公司是一家集真空鍍膜電源/PVD鍍膜電源的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售為一體的高科技企業(yè),已獲得高新技術(shù)企業(yè)認(rèn)定,通過(guò)iso:認(rèn)證,擁有專利多份。產(chǎn)品已獲得ce、rohs認(rèn)證。專注提供真空鍍膜電源及工業(yè)控制領(lǐng)域的解決方案。咨詢熱線:180-2547-6062
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