作者：深圳市英能電氣有限公司
時間：2022-02-08
經(jīng)常聽到有客戶抱怨說打火嚴重，報廢率高，嚴重耽誤交貨期還影響產(chǎn)品的利潤，尤其是鍍鋼塑合體的素材，或者特殊的畫油間電產(chǎn)品，打火更是嚴重，也找不到具體的原因，今天我們就來好好說說這到底是怎么回事？
首先打火我們要找到是什么原因造成的，要看是平面靶材還是旋轉(zhuǎn)靶材打火，因為大家用的比較多的是旋轉(zhuǎn)靶材，這里著重介紹旋轉(zhuǎn)靶材，如果是旋轉(zhuǎn)靶材可能是磁場設(shè)計的問題，也有可能是靶材本身純度的問題。旋轉(zhuǎn)靶材兩端容易結(jié)瘤，有人認為結(jié)瘤的地方是無效的，所以在靶材兩端用鈦材料代替，這樣可以解決打火問題，但是會導致工作時電位不穩(wěn)定，因為靶材轉(zhuǎn)動的時候，鈦與硅的交界電位活動很大，導致電位不穩(wěn)，從而導致鍍膜過程中膜厚不穩(wěn)定。如果設(shè)備有觀察窗口，通過觀察窗口，當玻璃經(jīng)過時，會發(fā)現(xiàn)此時輝光來回波動。無論是平面靶還是旋轉(zhuǎn)靶材，設(shè)計磁場時，都應該讓靶材表面的刻蝕面積越大越好。旋轉(zhuǎn)靶材濺射面剛好到靶材頂端，這是最理想的狀態(tài)，這樣能大大減少打火狀態(tài)的發(fā)生。濺射到頂端并不是因為想讓靶材利用率更高點，而是讓靶材表面盡可能地干凈，這樣能大大減小靶材表面結(jié)瘤和打火現(xiàn)象。平面靶也是同樣的情況，中間的非刻蝕區(qū)域越小越好，這樣靶材表面更干凈，而且能提高靶材利用率。
排除了以上的原因，其實電源也是一個關(guān)鍵因素，英能公司針對這個問題專門研發(fā)了一款雙極脈沖偏壓電源，可以很好的解決素材打火的情況，不良率可控制在3‰以內(nèi)，基本解決了打火的問題，當然英能的其他電源比如中頻磁控濺射電源、脈沖直流磁控濺射電源、脈沖電源、高壓直流電源都是不錯的選擇，穩(wěn)定性是電源最大的亮點，都得到客戶的廣大認可的直流電源的廠家 ，如有興趣進一步深入了解請咨詢18025476062，我們將為您竭誠服務，為您解決生產(chǎn)過程中遇到的各種棘手問題，您的滿意是我們前行的動力，小編24小時在線為您服務。
