作者：深圳市英能電氣有限公司
時(shí)間：2023-03-11
直流高壓電源是一種高精度控制直流輸出電壓和電流的電源設(shè)備。在工業(yè)和實(shí)驗(yàn)室中廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工藝、科學(xué)研究、精密儀器測(cè)試等領(lǐng)域。根據(jù)使用的控制模式，直流高壓電源可以分為電流模式和電壓模式。
電流模式和電壓模式的區(qū)別主要在于輸出電路的控制方式。在電流模式下，直流高壓電源控制輸出電流大小，即在一定范圍內(nèi)保持恒定電流輸出，而輸出電壓則隨著負(fù)載電阻的變化而變化。這種模式廣泛應(yīng)用于需要保證負(fù)載端電流穩(wěn)定的場(chǎng)合，如半導(dǎo)體工藝中的離子注入和化學(xué)氣相沉積等。
電壓模式則是直流高壓電源控制輸出電壓大小，即在一定范圍內(nèi)保持恒定電壓輸出，而輸出電流則隨著負(fù)載電阻的變化而變化。這種模式適用于需要保證負(fù)載端電壓穩(wěn)定的場(chǎng)合，如精密儀器中的檢測(cè)、測(cè)量等。
同時(shí)，在實(shí)際應(yīng)用中，根據(jù)需要可在電流模式和電壓模式之間切換。例如，在半導(dǎo)體工藝中，涂層材料的厚度和形狀變化會(huì)導(dǎo)致負(fù)載電阻的變化，此時(shí)可以先在電壓模式下保持恒定電壓輸出，然后切換到電流模式下，保證穩(wěn)定的負(fù)載電流。
總結(jié)，直流高壓電源的電流模式和電壓模式的區(qū)別在于對(duì)輸出電路的控制方式。電流模式下，保持恒定電流輸出，適用于需要保持穩(wěn)定負(fù)載電流的場(chǎng)合。電壓模式下，保持恒定電壓輸出，適用于需要保持穩(wěn)定負(fù)載電壓的場(chǎng)合。根據(jù)實(shí)際需求，可以在兩種模式之間切換，以保證最佳工作效果。
