作者:深圳市英能電氣有限公司
時間:2024-04-25
單極性脈沖偏壓電源通過以下方式減少工件表面的損傷程度:
首先,其高頻單極性脈沖偏壓在工件上施加時,存在電壓中斷間隙,這個特性使得打火次數得到有效減少。打火次數的減少直接降低了工件表面因打火而產生的損傷風險。
其次,單極性脈沖偏壓電源利用高頻逆變技術中的快速關斷能力。這種能力能有效減少每次打火時釋放的能量。即使在實際出現打火的情況下,由于釋放的能量被顯著降低,工件表面的損傷程度也能得到明顯減輕。
此外,在脈沖間隙期間,沉積到工件表面的離子能量非常低。這種低能量沉積有助于進一步減少工件表面的損傷,同時也有利于通過調節頻率和占空比來更精細地改善和控制成膜的速度和質量。
綜合以上因素,單極性脈沖偏壓電源在減少工件表面損傷程度方面表現出了顯著的效果。
深圳市英能電氣有限公司是一家集真空鍍膜電源/PVD鍍膜電源的研發、生產與銷售為一體的高科技企業,主要產品:中頻磁控濺射電源、單極性脈沖偏壓電源/雙極性脈沖偏壓、直流偏壓電源、直流磁控濺射電源、單極性脈沖磁控濺射電源,陽極電源、離子源電源、弧電源、高功率脈沖磁控濺射電源,HIPIMS電源等。已獲高新技術企業、iso9001認證,擁有專利多份。產品已獲得ce、rohs認證。專注提供真空鍍膜電源及工業控制領域的解決方案。咨詢熱線:137-1700-7958