作者：深圳市英能電氣有限公司
時間：2024-04-25
單極性脈沖偏壓電源在真空離子鍍膜等應用中具有一些明顯的優點。
首先，其高頻單極脈沖偏壓施加在工件上，存在電壓中斷間隙，能有效減少打火次數，從而保護工件表面。在脈沖間隙期間，工件表面積累的電荷可以被中和，減少了表面電荷積累引起的打火。
其次，高頻逆變技術中的快速關斷能力能有效減少每次打火釋放的能量，即使在打火出現時，也能明顯降低工件表面的損傷程度。
此外，脈沖間隙期間沉積到工件表面的離子能量很低，這樣可以通過調節頻率、占空比來改善和控制成膜速度和質量。
最后，與直流偏壓相比，單極性脈沖偏壓電源能更好地控制離子轟擊過程，從而優化薄膜的微觀結構和性能。
因此，單極性脈沖偏壓電源在提高薄膜質量、減少工件損傷以及優化工藝控制等方面具有顯著優勢。
深圳市英能電氣有限公司是一家集真空鍍膜電源/PVD鍍膜電源的研發、生產與銷售為一體的高科技企業，主要產品：中頻磁控濺射電源、單極性脈沖偏壓電源/雙極性脈沖偏壓、直流偏壓電源、直流磁控濺射電源、單極性脈沖磁控濺射電源，陽極電源、離子源電源、弧電源、高功率脈沖磁控濺射電源，HIPIMS電源等。已獲高新技術企業、iso9001認證，擁有專利多份。產品已獲得ce、rohs認證。專注提供真空鍍膜電源及工業控制領域的解決方案。咨詢熱線：137-1700-7958
