作者：深圳市英能電氣有限公司
時間：2024-07-10
在電弧離子鍍技術中，脈沖偏壓扮演著至關重要的角色。以下是脈沖偏壓在該技術中的主要作用：
滅弧速度快：
當采用脈沖偏壓時，特別是在主弧轟擊時，通過設定如20%的占空比，可以使工件上所施加的高偏壓自動“過零”，從而切斷對已經形成電弧的供電，使電弧自動熄滅。這有效地防止了連續的大弧光對工件造成的燒傷。
工件溫升低：
脈沖偏壓是間斷供電的，因此工件只在“占空”的時段內受到吸引過來的離子轟擊。在不導通的時段內，工件不受離子轟擊，這顯著減少了總的平均能量輸入。因此，與采用直流電源時工件連續受到離子轟擊相比，工件的溫度會相對較低。
例如，在高速鋼等500℃左右回火的工模具上沉積氮化鈦等硬質涂層時，為了優化金屬的離化率和提高硬質涂層的致密度，通常會將占空比調到80%左右。而對于低溫回火的工模具和鋅鋁合金件，則需要將占空比調低以降低沉積溫度。
大熔滴減少，膜層組織更加致密：
脈沖偏壓電源的應用使得膜層組織中的大熔滴明顯減少或細小化。盡管脈沖偏壓不能徹底清除大顆粒，但其對小尺寸的大顆粒凈化效果比較明顯，這對于減少膜層中的缺陷、提高膜層質量具有重要意義。
由于工件上的膜層在連續生長過程中間斷接受離子轟擊，這種脈沖偏壓的作用有助于松弛膜層生長過程中的應力，從而獲得與基體結合良好的厚涂層。目前，利用這種技術可以沉積出4~7um的硬質涂層，顯著提高工模具的壽命。
提高鍍層質量和功能：
脈沖偏壓電弧離子鍍能夠實現高質量的鍍層，因為離子束的高能量和高速度使得鍍層在表面形成緊密的結構，具有良好的附著力和耐腐蝕性。這種鍍層不僅可以提高材料的表面硬度和磨損性能，還可以增強材料的耐熱性和耐腐蝕性，延長材料的使用壽命。
綜上所述，脈沖偏壓在電弧離子鍍技術中起到了至關重要的作用，包括快速滅弧、降低工件溫升、減少大熔滴和提高鍍層質量等。這些作用使得電弧離子鍍技術能夠制備出高質量、高性能的薄膜材料，廣泛應用于航空航天、汽車制造、電子設備等領域。
深圳市英能電氣有限公司是一家集真空鍍膜電源/PVD鍍膜電源的研發、生產與銷售為一體的高科技企業，主要產品：中頻磁控濺射電源、單極性脈沖偏壓電源/雙極性脈沖偏壓、直流偏壓電源、直流磁控濺射電源、單極性脈沖磁控濺射電源，陽極電源、離子源電源、弧電源、高功率脈沖磁控濺射電源，HIPIMS電源等。已獲高新技術企業、iso9001認證，擁有專利多份。產品已獲得ce、rohs認證。專注提供真空鍍膜電源及工業控制領域的解決方案。咨詢熱線：137-1700-7958
