作者：深圳市英能電氣有限公司
時間：2024-05-24
中頻磁控濺射電源的分類主要基于其特性和功能，具體可以分為以下幾種類型：
直流恒壓型：這種電源輸出直流恒定電壓，適用于靶材材料的濺射，能夠提供穩定的能量輸送。
直流恒流型：輸出直流恒定電流，適用于濺射過程中需要穩定的電流輸入的場合，如濺射金屬材料。
脈沖型：輸出電壓或電流呈脈沖形式，這種電源的能量密度更高，聚焦區域更小，適用于一些高密度微結構的制備和表面修飾。脈沖切換的電場可以增強離子的動能，使得濺射速率更高，薄膜質量更好。
反饋型：通過反饋控制回路，自動調節電源的輸出電壓或電流，以保證濺射過程的穩定性。
大功率型：輸出功率較高，可用于大面積或高速濺射的工藝過程，如制備大面積薄膜或在工業生產線上應用。
此外，根據電源的頻率和功率等特性，中頻磁控濺射電源還可以進一步細分為不同的型號和規格。這些電源在磁控濺射技術中扮演著重要的角色，能夠滿足不同工藝和應用的需求。
請注意，以上分類僅供參考，具體分類可能因廠家和應用領域的不同而有所差異。
深圳市英能電氣有限公司是一家集真空鍍膜電源/PVD鍍膜電源的研發、生產與銷售為一體的高科技企業，主要產品：中頻磁控濺射電源、單極性脈沖偏壓電源/雙極性脈沖偏壓、直流偏壓電源、直流磁控濺射電源、單極性脈沖磁控濺射電源，陽極電源、離子源電源、弧電源、高功率脈沖磁控濺射電源，HIPIMS電源等。已獲高新技術企業、iso9001認證，擁有專利多份。產品已獲得ce、rohs認證。專注提供真空鍍膜電源及工業控制領域的解決方案。咨詢熱線：137-1700-7958
