作者：深圳市英能電氣有限公司
時間：2024-05-22
中頻磁控濺射電源的特點主要包括以下幾個方面：
中頻工作頻率：中頻磁控濺射電源的工作頻率通常在10 kHz至100 kHz之間。相較于低頻和高頻電源，中頻電源對靶材表面的附著力更強，從而提高了靶材的利用率。同時，中頻電源也能減少電弧的產生，提高工作穩定性。
磁屏蔽能力：中頻磁控濺射電源能夠產生強大的磁場，與磁控濺射靶材的磁性材料相互作用，形成磁控區。這種磁控區可以有效地控制離子的行為，提高濺射效率，并使得沉積薄膜均勻且致密。
穩定的電源輸出：中頻磁控濺射電源能夠提供穩定的電源輸出，以滿足濺射過程中的功率需求。其經過精確的控制和調節，可以確保膜層的均勻和質量。
多種保護功能：中頻磁控濺射鍍膜電源具有多種保護功能，如過電流保護、過壓保護、過熱保護等。這些保護機制可以保護設備和材料避免受到損壞。
高效的能量轉換：中頻電源可以提供穩定、高效的能量，能更快速、更均勻地形成濺射等離子體，從而大幅縮短生產時間。
廣泛適用性：中頻磁控濺射電源廣泛應用于金屬薄膜、氧化物薄膜、金屬合金薄膜等材料的制造。
請注意，雖然中頻磁控濺射電源具有許多優點，但在使用過程中仍需注意相關問題，如設備復雜性、成本以及對基底材料的要求等。在選擇是否使用中頻磁控濺射電源時，需要根據具體的應用需求和條件進行綜合考慮。
深圳市英能電氣有限公司是一家集真空鍍膜電源/PVD鍍膜電源的研發、生產與銷售為一體的高科技企業，主要產品：中頻磁控濺射電源、單極性脈沖偏壓電源/雙極性脈沖偏壓、直流偏壓電源、直流磁控濺射電源、單極性脈沖磁控濺射電源，陽極電源、離子源電源、弧電源、高功率脈沖磁控濺射電源，HIPIMS電源等。已獲高新技術企業、iso9001認證，擁有專利多份。產品已獲得ce、rohs認證。專注提供真空鍍膜電源及工業控制領域的解決方案。咨詢熱線：137-1700-7958
