真空鍍膜電源

　　離子源的功能是將中性原子或分子電離，并從中引出離子束流。它是離子加速器、質譜儀、電磁同位素分離器、離子注入機、離子束刻蝕裝置、離子推進器以及受控聚變裝置等設備的不可缺少的部件。它能夠將樣品導入系統引入的氣態樣品分子轉化成離子，同時又具有準直和聚集作用，使離子會聚成具有一定幾何形狀和能量的離子束進入質量分析器。

　　離子源根據工作原理的不同，可以分為以下幾類：

　　熱離子源：通過加熱物質來產生離子束，如熱陰極離子源和熱陽極離子源。熱陰極離子源是利用陰極加熱產生的熱電子來電離氣體分子從而產生離子束的一種離子源。

　　電離源：通過電離過程產生離子束，如電子轟擊電離源和化學電離源。電加熱銻或鎢絲到高溫產生高速的電子束，樣品經過氣化進入電離室，與電子流撞擊，若獲得能量高于分子的電離能則分子失去電子而發生電離或碎裂。

　　離子化源：通過氣體放電等方式將中性粒子轉化為離子束，如電噴霧離子源和電火花離子源。

　　加速器源：利用離子加速器將中性粒子加速并轉化為離子束。

　　此外，按照引出離子電負性種類的差別，離子源可以分為正離子源與負離子源;按照離子源內部離子生成原理的差別，離子源可以分為等離子體離子源、表面電離離子源、濺射離子源、電荷交換離子源、電子電離離子源等種類;按照離子源中產生離子材料的差別還可分為氣體離子源、液態金屬離子源、固體離子源等類別。

　　以上信息僅供參考，如需更多關于離子源的信息，建議查閱相關文獻或咨詢專業人士。

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