作者：深圳市英能電氣有限公司
時間：2024-04-22
離子源電源的工作原理主要基于氣體放電原理。當氣體在離子源中的陰陽極之間通過時，其陽極的正電壓與加在內外陰極端部間的強磁場相互作用，產生等離子體。來自于等離子體中的離子受陽極電場的驅動，由離子源中產生噴出的離子束流。此外，不同類型的離子源，如高頻離子源，則利用稀薄氣體中的高頻放電現象使氣體電離，形成無極放電，產生大量等離子體。
離子源電源的作用主要是為離子源提供所需的工作電壓和電流，以產生穩定的離子束。離子束在多種應用領域中發揮著重要作用，如離子束清洗、離子注入、離子鍍膜等。離子源電源通過精確控制離子束的能量、束流大小和方向等參數，實現對材料表面的精確處理，如去除表面污染物、增加薄膜附著力、改變材料表面性質等。
總的來說，離子源電源是離子源正常工作的關鍵部件，它的性能直接影響到離子束的質量和穩定性，進而影響到離子束處理的效果。因此，在選購離子源電源時，需要考慮其穩定性、精確性、可靠性以及與應用需求的匹配度等因素。
深圳市英能電氣有限公司是一家集真空鍍膜電源/PVD鍍膜電源的研發、生產與銷售為一體的高科技企業，主要產品：中頻磁控濺射電源、單極性脈沖偏壓電源/雙極性脈沖偏壓、直流偏壓電源、直流磁控濺射電源、單極性脈沖磁控濺射電源，陽極電源、離子源電源、弧電源、高功率脈沖磁控濺射電源，HIPIMS電源等。已獲高新技術企業、iso9001認證，擁有專利多份。產品已獲得ce、rohs認證。專注提供真空鍍膜電源及工業控制領域的解決方案。咨詢熱線：137-1700-7958
