作者:深圳市英能電氣有限公司
時間:2024-04-01
單極性脈沖磁控濺射電源的型號參數因不同制造商和產品系列而異。以下是一些常見的單極性脈沖磁控濺射電源型號參數介紹:
1. 輸出功率:表示電源能夠提供的最大功率,通常以千瓦(kW)為單位。不同型號的單極性脈沖磁控濺射電源具有不同的輸出功率范圍,以滿足不同規模和應用的需求。
2. 輸出電壓:指電源在工作時能夠提供的電壓范圍。這個參數對于確定濺射過程中的電場強度和離子能量很重要,通常以伏特(V)為單位表示。
3. 輸出電流:表示電源在工作時能夠提供的最大電流,以安培(A)為單位。輸出電流的大小直接影響到濺射速率和沉積效果。
4. 脈沖頻率:指電源輸出的脈沖信號的頻率,通常以赫茲(Hz)為單位。脈沖頻率的選擇對于控制濺射過程中的離子能量和沉積速率至關重要。
5. 脈沖寬度:表示每個脈沖信號的持續時間,通常以微秒(μs)為單位。脈沖寬度的調整可以影響到濺射過程中的平均功率和能量分布。
6. 負載匹配:一些先進的單極性脈沖磁控濺射電源具備負載匹配功能,可以自動或手動調整輸出阻抗,以實現與負載的最佳匹配,確保功率的最大化傳輸和減小反射損耗。
7. 控制方式:描述電源的控制方式和接口類型,例如手動控制、遠程控制或計算機控制等。先進的控制方式可以提供更靈活和精確的濺射過程控制。
請注意,具體的型號參數可能因不同制造商和產品而有所不同。在選擇單極性脈沖磁控濺射電源時,建議參考制造商提供的技術規格表、用戶手冊或與銷售代表聯系,以獲取最準確和詳細的參數信息。同時,根據具體的應用需求和工藝要求,選擇適合的型號和參數配置。
深圳市英能電氣有限公司是一家集真空鍍膜電源/PVD鍍膜電源的研發、生產與銷售為一體的高科技企業,主要產品:中頻磁控濺射電源、單極性脈沖偏壓電源/雙極性脈沖偏壓、直流偏壓電源、直流磁控濺射電源、單極性脈沖磁控濺射電源,陽極電源、離子源電源、弧電源、高功率脈沖磁控濺射電源,HIPIMS電源等。已獲高新技術企業、iso9001認證,擁有專利多份。產品已獲得ce、rohs認證。專注提供真空鍍膜電源及工業控制領域的解決方案。咨詢熱線:137-1700-7958