作者:深圳市英能電氣有限公司
時間:2022-05-18
磁控濺射電源的冷卻方式是我們在使用電源過程中比較關注的問題,涉及到我們電源使用穩定等各個方面,深圳英能電氣有限公司在這一方面有比較好的獨到的處理方式,常規是采用風冷加水冷模式,小功率采用風冷模式,還可以根據客戶需求量身制定。我司采用的冷卻水模式的原理以及注意事項請知悉,使電源的使用過程更加平穩和諧。
1、風冷:引入相當于室溫的空氣(最高40度)。 把輸入空氣分配到各個電源。 防止空氣在每個電源外重復循環。 排出的空氣不得再返回循環并防止成為輸入空氣
2、冷卻水管應牢固連接,避免漏水,損壞電源。 冷卻水進水溫度20℃,冷卻水水壓1.5 – 3.0Kg/cm2 冷卻用水應使用軟化水,防止結垢。工作過程中,必須保證冷卻水暢通。 當電源不工作時,應停止冷卻水循環,以避免電源內部結露。
不管磁控濺射電源還是脈沖電源,冷卻方式都是一樣的,但是根據功率的不同會略有不同,也歡迎同行業探討交流更深層次的問題,為電源釋放熱量更好的排憂解難提出更多寶貴建議。請多關注我司網站和產品介紹,也歡迎來電咨詢,相信會有不一樣的收獲。
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