作者：深圳市英能電氣有限公司
時間：2023-10-20
對于做真空鍍膜加工的客戶來說，“靶中毒”這個詞一定不陌生，要解決靶中毒問題，自然少不了中頻磁控濺射電源。先來說說引起靶材中毒的原因，主要是氧化反應氣體通入太多，造成導體靶材喪失導電能力，只有提高擊穿電壓，靶材才能起輝，但是電壓過高容易發生弧光放電現象，所以濺射靶材一直處于低電壓運行狀態，并伴有弧光放電，使靶表面呈現白色附著物或密布針狀灰色放電痕跡。中頻磁控濺射電源的出現，就是為了解決靶中毒現象，用中頻磁控濺射電源來代替直流電源，減少反應氣體的通入量、提高濺射速率，可以抑制靶表面弧光放電，有效防止靶中毒現象。
深圳市英能電氣有限公司是一家集真空鍍膜電源/PVD鍍膜電源的研發、生產與銷售為一體的高科技企業，主要產品：中頻磁控濺射電源、單極性脈沖偏壓電源/雙極性脈沖偏壓、直流偏壓電源、直流磁控濺射電源、單極性脈沖磁控濺射電源，陽極電源、離子源電源、弧電源、高功率脈沖磁控濺射電源，HIPIMS電源等。已獲高新技術企業、iso9001認證，擁有專利多份。產品已獲得ce、rohs認證。專注提供真空鍍膜電源及工業控制領域的解決方案。咨詢熱線：137-1700-7958
