作者:深圳市英能電氣有限公司
時間:2023-10-09
隨著時代發展科技進步,偏壓電源的制造從早期的可控硅技術,升級到現在的高頻逆變技術??梢哉f在真空離子鍍膜中,偏壓電源的好壞對于成膜質量起著非常關鍵的作用。比如常見的單極性脈沖偏壓電源,其高頻單極脈沖偏壓施壓在工件上,由于存在電壓中斷間隙,能有效減少打火次數,保護工件表面。在脈沖間隙期間,工件表面積累的電荷可以被中和,從而減少了表面電荷積累引起的打火。高頻逆變技術中的快速關斷能力,能有效減少每次打火釋放的能量,即使在打火出現時,也能明顯降低工件表面大損傷程度;脈沖間隙期間沉積到工件表面的離子能量很低,并且通過調節頻率、占空比要改善和控制成膜速度和質量。
深圳市英能電氣有限公司是一家集真空鍍膜電源/PVD鍍膜電源的研發、生產與銷售為一體的高科技企業,主要產品:中頻磁控濺射電源、單極性脈沖偏壓電源/雙極性脈沖偏壓、直流偏壓電源、直流磁控濺射電源、單極性脈沖磁控濺射電源,陽極電源、離子源電源、弧電源、高功率脈沖磁控濺射電源,HIPIMS電源等。已獲高新技術企業、iso9001認證,擁有專利多份。產品已獲得ce、rohs認證。專注提供真空鍍膜電源及工業控制領域的解決方案。咨詢熱線:137-1700-7958