作者:深圳市英能電氣有限公司
時間:2023-09-22
電弧電源也就是我們常說的弧電源,在電弧離子鍍膜中靶材蒸發和電離的實現離不開弧電源提供能量,并且弧電源還能自動檢測滅弧現象并自動引弧,保證鍍膜過程中的連續性和膜層的均勻性;此外,弧電源的穩弧性能尤其是最小穩弧電流對膜層的一致性、效率性和光潔度影響很大。穩定可靠的弧電源對整臺設備的性能至關重要?;‰娫磸膫鹘y電源式,發展到現在的高頻逆變式,與傳統電源相比不僅電源的體積、重量縮小,電源效率更是提高了20%~30%左右,電源的響應速度和調節精度更高。
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